擴散焊是制造電真空器件的關(guān)鍵工藝技術(shù)之一，具有連接精度高、接頭強度高、可焊材料多樣等優(yōu)點。在電真空器件領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。本文簡要介紹了真空擴散焊接技術(shù)的特點、分類、連接材料以及在電真空領(lǐng)域的典型應(yīng)用。

電真空裝置是由數(shù)十種材料（包括金屬和非金屬材料）通過焊接方法連接而成的高度復雜的部件。制造電真空器件常用的焊接方法包括釬焊、電弧焊、電阻焊、激光焊、電子束焊、擴散焊、冷壓焊等。隨著器件向毫米波方向發(fā)展，對器件的連接精度和變形提出了更嚴格的要求。擴散焊接可以連接絕大多數(shù)材料，包括以前認為不可能連接的金屬和非金屬，并使接頭高度可靠，具有高靜態(tài)和動態(tài)負載強度、熱穩(wěn)定性、真空密封和高彈性。它還可以實現(xiàn)精確焊接，確保焊接結(jié)構(gòu)具有給定的幾何參數(shù)和性能。因此，真空擴散焊接在真空電子器件的制造過程中具有廣闊的應(yīng)用前景。

1.擴散焊

前蘇聯(lián)的Kazakov在20世紀50年代中期提出了真空擴散焊接技術(shù)。這主要包括固態(tài)擴散鍵合、瞬態(tài)液相鍵合（TLP）和部分瞬態(tài)液相結(jié)合（PTLP）。

1.1固相擴散焊

固相擴散焊接是目前最常用的擴散焊接方法。固相真空擴散焊是一種依靠界面原子遷移在一定時間、溫度和壓力下實現(xiàn)鍵合的固態(tài)工藝。要連接的表面必須光滑（Ra<0.4μm）清潔，擴散焊接溫度通常為（0.5-0.9）Tm（Tm是材料的熔點，當連接不同材料時，Tm是低熔點材料的熔點）。由于材料熱膨脹和冶金不相容性的不匹配，一些連接接頭很難實現(xiàn)直接擴散焊接，通常使用中間層（或復合中間層）。近年來，為了克服高溫、高壓和長時間（甚至長達幾個小時）的問題，已經(jīng)開發(fā)了固相擴散焊接。

1.2 TLP

TLP是一種介于熔焊和壓力焊之間的焊接方法。TLP是一種具有特殊成分和低熔點的薄中間層合金，用作連接合金。它被放置在焊接表面之間，施加較小或沒有施加壓力，并在真空條件下加熱，直到中間層合金熔化。液態(tài)中間層合金潤濕基材，在焊接表面之間形成均勻的液膜。經(jīng)過一定的絕緣時間后，中間層合金和基材之間發(fā)生擴散，合金元素趨于平衡。熔點升高，達到擴散焊接加熱溫度，并進一步擴散，形成固體連接[3]。

2.結(jié)論

隨著電真空器件高頻化、小型化的發(fā)展，以及新型高性能材料的不斷應(yīng)用，對元器件的連接性能提出了更高的技術(shù)要求，必將推動真空擴散焊接技術(shù)在電真空器件領(lǐng)域的應(yīng)用和發(fā)展。與此同時，擴散焊接技術(shù)正在不斷研究新的工藝方法，這也將為采用新材料和新結(jié)構(gòu)提高真空器件的性能提供技術(shù)支持。